我国第一条八英寸硅单晶抛光生产线正式建成 | |
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http://www.sina.com.cn 2003年12月20日08:25 新华网 | |
我国第一条可满足0.25微米线宽集成电路需求的8英寸硅单晶抛光生产线,今天在北京通过国家验收。这对满足我国半导体器件市场需求,促进深亚微米集成电路的技术进步,具有现实意义。 由北京有色金属研究总院承担的8英寸硅单晶抛光片高技术示范工程,集中了该院几十年来在硅材料领域的研究成果和产业化经验,拥有自主知识产权。(记者/贾西平)(来源 | |
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