沈企开创 IC装备自主化先河

　　本报讯（记者白昕实习生费莹莹）2月23日，记者从浑南新区管委会获悉，作为国内第一、国际先进的中高端IC装备企业，沈阳芯源先进半导体技术有限公司通过竞标，成为全球第三大芯片代工企业———中芯国际集成电路制造有限公司的合同供应商，开创了国产IC装备应用于大规模集成电路的先河。

　　记者从有关方面了解到，沈阳市政府已明确将 IC装备产业作为沈阳“十一五”规划

的重点发展产业，并重点建设沈阳IC装备基地。