自主创新 开辟未来1--"温柔一刀"雕刻数码新生活

　　"十五"期间，中船重工第七一八研究所在三氟化氮研究上实现历史性突破，成为国内惟一能够掌握高纯度三氟化氮生产的单位，填补了我国一项科研空白，使得我国微电子行业受制于人的局面彻底改变开栏的话

　　如今，手机变得越来越小，电视变得越来越薄，你知道吗，在此过程中，一种叫做三氟化氮的"气体刻刀"立下了汗马功劳……本报今起开辟《自主创新开辟未来》专栏，报道

我省各行各业取得的新成果、新突破，进一步在全社会营造自主创新氛围，推动建设创新型国家这一重大战略举措在河北大地生根、开花、结果。本报讯(记者王玉亮通讯员李彦力、刘帅)如今，手机变得越来越小，电视变得越来越薄，你知道吗，在此过程中，被誉为“气体刻刀”的三氟化氮气体立下了汗马功劳。可是，生产高纯度的三氟化氮并不容易，长期以来，这项技术被美、日等国少数几家公司所垄断。“十五”期间，中船重工第七一八研究所在此项研究上实现了历史性突破，成为国内惟一能够掌握高纯度三氟化氮生产的单位，填补了我国一项科研空白，使我国微电子行业受制于人的局面彻底改变。

　　三氟化氮是一种无色无味的气体，当混入一定量的杂质气体后颜色变黄，同时会有发霉或刺激性气味。不过，你可别小看了它，在微电子生产领域，它可是声名显赫的“温柔一刀”。

　　这种气体可以在集成电路板上“蚀刻”出只有几十纳米的线槽，使电子产品的核心部件能够越做越小，有了它，手机、电脑、MP3等各种数码产品才变得小巧玲珑。

　　三氟化氮不仅能够作为蚀刻气，而且还可以作为清洗气，在生产液晶显示器的时候，由于周围环境会有一些杂质，这些杂质用常规办法很难清理干净，这时候三氟化氮可以大显身手，它的强氧化作用能与接触到的物质发生化学反应，起到彻底清理杂质的效果，为液晶显示器的生产创造近乎零污染的环境。

　　然而，不论是作为合格的蚀刻气还是清洗气，三氟化氮都必须达到尽可能高的纯度，一般国际上要求达到99.99%，否则，由于杂质过多，就会造成生产出的集成电路、液晶显示器等产品不合格。近年来，我国微电子行业发展迅速，但由于掌握不了生产高纯度三氟化氮的核心技术，每年微电子行业必须支付高昂的价钱从国外购买，从而制约了整个行业的发展。而且，直到2004年，美、日等国还把三氟化氮作为战略物资，不允许出口到其他国家，其核心技术更不可能转让。

　　要打破外国的垄断，不再受制于人，只有一条路可走，那就是自主创新、拥有自己的知识产权。从2000年开始，位于邯郸的中船重工第七一八研究所便把目光瞄准了高纯度三氟化氮的研制。该所的特种气体工程部曾经生产过用于军品、纯度很低的三氟化氮气体，在此基础上，七一八研究所组织科技人员攻关，并投巨资进行高纯度三氟化氮气体纯化技术和设备、扩产技术和设备、罐装技术和设备的研究开发。一次次试验，一次次失败；一次次总结经验，一次次取得进步。终于，该所生产的三氟化氮气体纯度由最初的99%提高到了99.99%。2004年，经过国家科技部、商务部、质量监督检验检疫总局、环保总局等部门评审，七一八研究所生产的高纯度三氟化氮气体被列入“国家重点新产品”计划。

　　目前，七一八研究所生产的三氟化氮气体纯度已经达到99.999%，这不仅在国内独一无二，在国际上也是领先的。而且，有专家认为，与美、日生产三氟化氮气体的技术相比，七一八研究所的技术在安全性、经济性上更胜一筹。

　　随着微电子行业的发展，世界各国对高纯度三氟化氮气体的需求越来越大。目前，国内外很多大公司都在与七一八研究所联系，希望该所扩大生产。据悉，去年该所在邯郸市开发区新上一条生产线，生产能力达到300吨/年，按照规划，“十一五”末，高纯度三氟化氮气体的年产值将超过1亿元。