本报讯(记者徐飞鹏)昨天下午，市委书记刘淇到北方微电子设备中心有限责任公司，察看了100纳米高密度等离子刻蚀机创新成果。他强调，100纳米高密度等离子刻蚀机的研发成功，是我国自主创新、科技创新的重要成果。要全力支持集成电路重大装备相关项目的研发，瞄准市场，坚持自主创新和科技创新，努力在国际市场打造北京高端装备制造品牌，形成产业链。
刘淇和市委常委、秘书长孙政才在北方微电子公司仔细了解了100纳米等离子刻蚀机的生产流程。集成电路制造专用设备是集成电路产业的核心，是衡量一个国家和地区集成电路产业水平的标志。“九五”末期，我国集成电路装备水平为6英寸0.5微米，与当时国外领先的8英寸100纳米生产水平相差5个技术代，国内所有8英寸以上生产线没有一台国产设备。按照科技部的要求，在市政府的领导和组织下，北方微电子公司和中科信公司分别承担了刻蚀机和注入机项目。他们不断创新体制机制、企业运作模式、技术路线和员工意识，坚持自主创新，埋头苦干，经过三年的项目攻关和一年的生产线验证，刻蚀机和注入机设备各项工艺指标、可靠性指标、电性能参数和良率测试结果均达到国际同类设备水平。这一成果的取得，打破了国外垄断，为中国芯片企业研发自主核心工艺技术提供了支持；为深入研究65纳米以下工艺设备、集成电路核心装备和TFT—LCD产业工艺设备奠定了基础；有利于进一步形成国内微电子装备零部件产业链，提升其整体水平。
刘淇听取了北方微电子公司汇报后说，9月28日，100纳米高密度等离子刻蚀机和大角度离子注入机通过科技部和北京市组织的项目验收，标志着我们在集成电路制造重大装备自主研发、自主创新方面取得了重大突破和可喜成绩。这是各个相关部门和研发人员怀着为国争光的远大志向，埋头苦干，不断创新机制、理念和技术路线，坚持自主创新的成果。要广泛宣传科技人员的创新精神和各个创新机制的特点，以此为契机，进一步推动创新型城市和创新型国家建设。
刘淇指出，市委、市政府将与科技部等有关部门进一步加强合作，全力支持集成电路重大装备相关项目的研发。要努力瞄准市场，积极组织协调在京各科研院所，研究和推动树脂、陶瓷、石英、高纯铝等新材料的应用，推进备件国产化，努力降低成本，保证市场供应，形成产业链。要努力把重大装备技术研发纳入国家“十一五”科技发展战略，纳入国家中长期科技规划项目，实现更大进步。要进一步加强经费支持，再接再厉，努力打造北京高端装备制造品牌，在国际高端装备制造业上占有一席之地。RB146
