1100天自主创新研发成功“中国芯”(详见第2版) | |||||||||
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http://www.sina.com.cn 2006年10月10日16:24 北京晚报 | |||||||||
本报讯我国“十五”国家863重大专项——100纳米刻蚀机与离子注入机设备9月底研发成功后,该项目的科研负责人透露,中芯国际公司已经签订了刻蚀机和离子注入机的批量采购合同,合同总价值超过1亿元。据悉,此次买卖双方签约,是我国国产主流集成电路制造专用核心设备第一次实现批量销售,标志着我国集成电路制造核心装备研发取得了重大突破,在产业化上迈出可喜的第一步。(详见第2版)
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