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合肥：国内首台自主研发“光刻机”面世http://www.sina.com.cn 2008年01月14日10:15 桂龙新闻网-玉林日报
据新华社合肥1月13日电（记者 熊润频）国内首台具有世界领先水平、拥有自主知识产权的无掩膜光刻机日前在合肥面世。由中国工程院院士张钟华、叶声华等专家组成的鉴定组在鉴定后认为，芯硕半导体（中国）有限公司的“光刻机”技术，填补了国内光刻机在该项领域的空白，并且在国际同类产品中处于先进水平。 来源:玉林日报 责编:李晓花 
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合肥：国内首台自主研发“光刻机”面世http://www.sina.com.cn 2008年01月14日10:15 桂龙新闻网-玉林日报
据新华社合肥1月13日电（记者 熊润频）国内首台具有世界领先水平、拥有自主知识产权的无掩膜光刻机日前在合肥面世。由中国工程院院士张钟华、叶声华等专家组成的鉴定组在鉴定后认为，芯硕半导体（中国）有限公司的“光刻机”技术，填补了国内光刻机在该项领域的空白，并且在国际同类产品中处于先进水平。 来源:玉林日报 责编:李晓花
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