集成电路核心装备有了“中国造”

　　本报北京9月28日讯记者蒋建科报道：我国集成电路核心装备研发与产业化取得重大突破。集成电路可以说是工业生产的“大脑”，生产集成电路需要使用10多种设备，我国以前都依赖进口。如今，其中2项设备——刻蚀机和注入机有了“中国造”，使我国高端集成电路核心设备技术从无到有并跨越五代，达到国际上目前大面积应用的第五代水平，有助于扭转我国集成电路制造装备受制于人的局面。

　　今天，国家“863”计划集成电路制造装备重大专项——“100纳米高密度等离子体刻蚀机和大角度离子注入机”在京通过了科技部和北京市组织的验收。业主企业北京北方微电子公司、北京中科信公司和我国最大的集成电路代工厂——中芯国际公司分别签订了刻蚀机和注入机的批量采购合同。

　　专家评价说，这是我国国产主流集成电路核心设备产品首次实现销售，标志着我国集成电路制造核心装备研发取得了重大突破，在该领域自主创新和产业化上迈出了可喜的第一步。

　　据了解，目前我国集成电路的几十条成批量生产线全部靠进口。缺乏核心竞争力和自主创新能力，使我国集成电路产业特别是装备等核心技术方面往往受制于人。“十五”期间，科技部在“863”计划中设立了集成电路制造装备重大专项，选择核心设备中的2项——刻蚀机和注入机，由北京市组织实施，如期完成了产品研制，并按照国际标准在大生产线进行了近一年的检验考核。考核结论表明，国产刻蚀机与注入机的技术指标达到了国际同类生产设备标准。

　　这两种设备的技术水平基本与我国集成电路制造业主流技术水平更新同步，使未来2—3年我国集成电路制造业升级时可以使用上国产装备。尤为可贵的是，在3年多的研发过程中，参研单位认真分析国际专利，初步构建起了自主知识产权保护体系。

　　此次采购合同的签订，意味着国内集成电路设备企业第一次成为主流生产厂的供应商，集成电路核心设备首次成功批量销售，为“十一五”实施国家中长期科技发展规划纲要所确定的“集成电路制造装备与成套工艺”重大专项奠定了基础。

　　专家指出，集成电路装备业已成为高技术装备产业的典型代表。中国集成电路制造业的蓬勃发展为集成电路制造装备带来了巨大的市场空间。据预测，到2010年，我国集成电路产业投资累计将达到3500亿元，其中大部分将用于集成电路制造装备投资。