我国微电子关键专用工艺设备研发获重大突破 |
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http://www.sina.com.cn 2003年12月13日14:04 人民网 |
人民网重庆12月13日电记者崔佳报道:国家“九五”重大工程项目——代号为“9711工程”的6英寸、0.5微米微电子专用设备开发工程日前取得突破性进展。总投资近1.4亿元的14种、18台套该集成电路关键工艺设备昨日在重庆全部顺利通过了信息产业部会同有关部门组织的设计定型鉴定和项目验收,并落户中国电子科技集团24所。这标志着我国微电子行业模拟集成电路研制生产水平和和关键设备制造能力又迈上了一个新的台阶。 “9711工程”是国家针对集成电路研究开发需求和国内关键专用设备发展战略需求而确定的重点攻关项目,1997年正式启动。据介绍,6年多来,在信息产业部及相关部门的领导和组织下,经过全体参研参试单位的共同努力,不仅在单项设备技术攻关的工程化、实用化方面也取得了重大进展,而且初步建立起国产内微电子关键工艺设备的研发体系,突破重大关键技术152项,取得专利49项,培养和锻炼专业技术人才189人,初步构筑起我国高性能半导体专用设备自主研发和生产技术平台,从而缩短了我国同世界先进国家在半导体工艺设备制造水平方面的差距,为振兴电子专用装备制造业奠定了良好的基础。来源:人民网 |