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图:“微型光谱即时侦测器”在台研发成功


http://www.sina.com.cn 2004年10月14日16:25 中国新闻网

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图:“微型光谱即时侦测器”在台研发成功
  十月十四日,台湾精密仪器发展中心宣布研发成功被称为“半导体电浆制程测漏尖兵”的“微型光谱即时侦测器”。图中科研人员手持的这种仪器具有轻薄短小、价格低廉的特点,可以广泛运用于电浆制程工艺的晶圆生产中确认电浆制程腔体是否漏气,从而提高产品合格率、降低成本。中新社图

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