首块国产靶材在余姚下线 |
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http://www.sina.com.cn 2005年12月11日07:09 中国宁波网-宁波日报 |
宁波日报讯(余姚记者站龚宁叶初江)前日,宁波江丰电子材料有限公司正式投产,他们生产的第一块国产半导体工业用溅射靶材也于当天下线,并通过了质量检验。这块靶材的下线标志着中国成为继美国、日本之后,第三个能生产靶材的国家。 江丰公司承担的“超大规模集成电路制造用铝和钽溅射靶材产业化关键材料技术研究”课题,是2005年度国家863计划引导项目。 靶材是生产芯片必不可少的原材料,此前中国所需靶材全部依赖进口。靶材生产技术是长期制约中国芯片生产的一个瓶颈。注册资本达1288万美元的江丰公司于今年4月在余姚成立。这一项目被列入国家863计划后,在当地各部门的支持下,公司在三名“海归”博士的主持下,加快研究与生产步伐,今年10月小批量靶材样品就投入试生产。 |