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本报讯(记者任荃)记者前天从市科委获悉,由上海企业自主研发制造的国内首台先进封装光刻机,已实现销售并投入使用。此举打破了国外在高端光刻机领域的长期垄断,对提升我国集成电路制造装备、工艺及材料技术的自主创新能力具有重要意义。
该机型具有自主知识产权,在投影物镜、高精密工件台、对准调焦测量、软件系统等关键技术上取得了一系列创新。
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