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新华社东京5月26日电（记者何德功）日本产业技术综合研究所和日立公司开发出一种高灵敏度化学元素分析装置，它是利用电子显微镜放出的电子束照射目标物质，通过单个原子吸收能量的不同来精确识别元素的。
据《朝日新闻》报道，用电子束照射试样材料，电子束能量一般会有损失，不同种类的元素其能量损失也各不相同。元素分析装置正是利用这一原理，用电子显微镜放出的电子束照射物质，根据物质原子吸收的能量多少分析其构成元素。
日本产业技术综合研究所碳纳米研究中心研究人员在开发过程中，让元素分析装置中使用的电子显微镜放出0.2纳米细的带有强电流的电子束，被照射物质中即使只有一个原子吸收能量，也能被捕捉并加以识别。试验时，元素分析装置清楚地捕捉并识别出了附着在碳纳米材料上的单个钆原子，使得钆元素的检测可信度从过去的95％提高到100％。
元素分析装置在查明蛋白质立体结构和碳纳米材料领域大有用武之地，比如在碳纳米材料中，只要混入一个杂质原子，就会改变材料的性质，利用这种装置可以检测到其中杂质的存在。目前，电子显微镜也可以观测到单个原子，但无法识别原子种类，而市场上销售的普通元素分析装置，原子不集中到数十个以上很难识别出是何种元素，难以满足对纯度要求很高的纳米技术研究，而新装置可以有效解决这一问题。
