纳米尺度打磨世界级技术安集微电子凭借自主创新助力“东方硅谷”

　　■文/本报记者张懿

　　编者的话

　　日前发布的《国家中长期科学和技术发展规划纲要(2006－2020年)》，标志着自主创新这一国家战略已经进入实际运筹层面。同时发布的《中共中央、国务院关于实施科技规

划纲要增强自主创新能力的决定》也发出号召：动员全党全社会力量，为建设创新型国家而奋斗。

　　布局已就，行动在即。上海如何在建设创新型国家进程中走在前列，如何把增强自主创新能力贯彻到现代化建设的各个方面，贯彻到各个产业、行业中去，重大的任务已经现实地摆在我们面前。

　　安集微电子以纳米尺度瞄准并打造世界级技术的成功实践，再次显示了自主创新的巨大活力。企业是创新体系建设的核心。“自主产权是安集的生命”，他们的这一体会，正是对建设创新型国家战略的最好回应。

　　可喜的是，像安集微电子这样以自主创新为使命的企业在上海越来越多。本报今起推出《推进自主创新提升国际竞争力》专栏，分别以“典型案例篇”和“领军人物谱”专题，多侧面、多层次地展现“十一五”开局之年全市大力实施科教兴市主战略、增强自主创新能力的最新进展，敬请读者关注。

　　春节刚过，张江一座办公楼里已忙忙碌碌。安集微电子——一家创办1年多的公司正在紧张地调试仪器。在相距十分钟车程的金桥，一片三千多平米的空厂房已准备好，未来一、两个月，设备就将进场安装。

　　安集总裁、48岁的俞昌——一个在美国生活了20多年，在多家世界顶级芯片公司工作过的“海归”，已把事业扎根在张江。曾任美国一家世界级芯片材料企业研发主管的他，拥有40多项美国专利，在他们所从事的材料领域，他和另一位“海归”创始人、技术总监王淑敏都是世界级专家，成果被应用于全球各个芯片工厂。

　　2004年夏，上海浓厚的创新氛围、“东方硅谷”的前景，吸引他们创办了安集。同时以他们为核心，凝聚起了国内外一流的团队。

　　芯片研磨剂，是安集从事的几个重要研发项目中的一个。虽然听起来冷门，却是所有芯片工厂的必需。

　　集成电路可谓是在方寸间制造大量导电线路的技术。简单说就是在硅晶圆盘上，用特殊工艺依照设计图刻下窄而深的槽，然后镀上一厚层金属，比如铜。开始，整片硅晶圆上全被铜覆盖，这就需要把表面的铜磨去，直到只剩下槽里的铜——于是就成了远比毫发更细的铜线电路。

　　硅晶圆上的槽——或者说导线有多窄？目前主流技术下，芯片的线宽只有约100纳米，或者说，头发直径的1/500；而说起来“深”，实际上也不过头发直径的几十分之一。在微观尺度内，尘粒就是巨石，需要打磨掉的薄薄金属层就是高原。

　　实际上，晶圆上需要磨掉的远不止一层铜，这个表面“沟壑”复杂，各种材料“软硬”相异，要在纳米尺度上磨得恰到好处，不多去掉一层，不少打薄一分，关键就在研磨机和晶圆之间的化学试剂。

　　俞昌告诉记者，他们用来衡量研磨平整度、稳定度的单位是“埃”，也就是1纳米的1/10。在控制严格的实验室中，空气洁净度的要求最高需要达到100——也就是1立方米空气里不超过100颗尘粒。一套全新的研发设备流水线，价格逾2千万美元。这多少说明了该行业的技术和资金门槛。

　　在安集的实验室里，记者见到了最终的产品——就是像稀释过的牛奶，泛着浅浅银光。

　　“自主产权是安集的生命。”俞昌表示：“虽然过去我们在美国拥有知识、经验，但是在上海做的完全是安集从头开始、自主创新的成果。”创业至今，安集夜以继日埋头研发。目前已在美国和国内申请了21项专利。根据测试，他们的产品已达到了国际领先水平。

　　据了解，目前世界上能成功开发安集所从事的材料的公司只有寥寥几家。国内尽管从2000年开始，兴起了集成电路制造工厂的建厂热潮，但相关高端试剂几乎完全依赖进口，国内仅安集所处市场的规模，每年达2亿美元。

　　由于试剂生产企业都在国外，因此国内芯片工厂很难得到迅捷的技术支持。国内提要求，国外研制并空运新配方……一来一去，就是数周。

　　每个芯片工厂的工艺、产品都有不同，需要的试剂配方也不尽相同。而且，随着芯片技术的迅速升级，需要不断开发新试剂。这就要求试剂研发企业同芯片工厂保持最快捷的互动，而安集公司和张江的芯片企业，最近的车程只有10分钟，安集的工程师，可以24小时在工厂提供服务。

　　机遇总是与挑战并存。目前，国内外已经有一些芯片企业打算或者开始试用安集的产品，但要完全获得市场的信任，需要时间。俞昌表示，计划在3年内成为国内的第一大供应商，同时，稳步参与海外市场竞争。

　　创业一年多来，俞昌正和他的团队一起，凭借出色的技术和行业内的声望，参与到国内芯片业的快速发展中。

　　在安集微电子公司研发实验室内，俞昌(右一)、王淑敏(右二)正在和同事们一起做微电子材料合成实验。本报记者金昊摄