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本报讯 (记者 章迪思 实习生 胡慧婷)将近两米高的长方形箱体内,几片硅片可以在里面接受“清洗”。昨天,这款由上海企业自主研发的硅片“消毒车间”亮相工博会。
要制造一个硅片成品过程非常复杂,从刻蚀到清洗大约需要经过三百多道工艺。中国的半导体产业大多集中于硅片制造环节,而像硅片清洗设备制造这样的高附加值领域,国内仍存在空白。由盛美半导体设备(上海)有限公司研发的这套设备,是国内首个具有自主知识产权的12英寸单片晶圆清洗设备。
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