11月19日，江苏先导微电子科技有限公司自主研发的用于大尺寸卷对卷磁控溅射设备经过多日严苛的装配检验和调试，顺利通过场内工艺验收并正式发货！充分展现行业客户对江苏先导微电子的高度认可与信任，进一步巩固了公司在国产高端薄膜沉积设备领域的领先地位，也为江苏省乃至全国在柔性领域高端装备的高质量发展增添全新动能。
该设备将多项先进技术集于一体，主要应用于柔性显示领域。其基材宽度1350mm，采用双工艺腔体，双镀膜鼓的方式，单个镀膜鼓可配置多达12根溅射靶管，通过独特的冷却方式，完美平衡了溅射热量和基材冷却的问题，同时配备全自动闭环张力控制系统，搭配自主研发的展平系统和张力辅助系统，能最大程度减少对薄膜和膜层的损伤，有效提升镀膜效率和维护保养效率。
卷对卷技术凭借在生产效率、生产成本、生产规模和产品质量等多方面的优势，对于柔性显示产品的大批量生产以及全核心层沉积有着明显的促进作用。该量产设备的顺利交货，是继柔性钙钛矿设备交货之后，又一次证明了先导江苏微电子在卷对卷量产设备领域的全面技术优势。
（来源：点财网）
