习近平总书记在湖北考察时强调:“湖北科教人才优势突出、科技创新能力较强,要在推进科技创新和产业创新上开拓进取。”当前,湖北正努力推动创新链、产业链、资金链、人才链“四链”融合,推动更多成果从实验室走向生产线、转化为现实生产力。
在位于光谷的湖北九峰山实验室,工程师们正在验证华工科技最新的研发成果——全自动晶圆激光退火设备。一片晶圆往往需要多次退火才能满足工艺需求。过去,这项关键技术一直被国外垄断。
华工科技半导体面板事业部市场总监肖冲:“以前都是依赖于进口,客户在用的过程中可能会遇到远程把设备锁死,交期也非常长,差不多是12个月左右。所以客户给我们提出来,你们一定要把这个设备进行国产化。”
虽然华工科技在激光领域深耕多年,但激光退火工艺中涉及到的光学、运动控制等专业领域的技术,企业还得从“0”开始突破。2022年,习近平总书记考察华工科技时强调,“必须加强技术研发,提高国产化替代率,把科技的命脉掌握在自己手中。”牢记嘱托,这两年,华工科技联合华中科技大学、光谷实验室、九峰山实验室等20家合作单位,共建了多个研发平台,开展协同创新,突破了一批“卡脖子”技术,先后诞生了60多项“中国第一”,激光退火设备就是最新的一项。
华中科技大学机械科学与工程学院副教授、博士生导师荣佑民:“这里面它是一个系统性的工程,高校有相关基础,根据我们各家的这种优势联合开展研发。”
企业和高校强强联合,给退火设备的研发按下了加速键。原计划一年时间完成样机开发,仅用了半年就完成了。在企业内部完成基本测试后,设备被搬到了九峰山实验室进行中试,按照目前的进度,本月底就可以发往终端半导体客户现场,进行批量验证。
华工科技半导体面板事业部总监黄伟:“我们作为设备的制造方,华中科技大学机械学院作为单元技术的攻克方,另外九峰山实验室相当于我们客户端的中试验证方,三方形成的通力合作,才有了我们设备研发下线这么顺利进行。”
习近平总书记在湖北考察时强调,“围绕重点产业强化创新链、产业链、资金链、人才链融合,加强关键核心技术研发攻关,构建大中小企业协同创新机制,提升科技成果转化水平。”目前,湖北已出台《促进科技成果转化行动方案(2024-2026年)》,强化供需对接、平台支撑、创新激励。同时,湖北聚焦光电科学、空天科技、生物育种等前沿科技领域,由华中科技大学、武汉大学、华中农业大学等高校院所牵头,组建了10家湖北实验室,推动更多成果加快走向产线、转化为现实生产力。
(长江云新闻记者 张君妍 曹文超 李慕文 通讯员 胡昕)