精神：科学来不得半点浮躁

　　技术人员手持的这张像镜面一样光滑的8英寸硅片，即将装入高能离子注入机，完成离子注入工序。本报记者戴冰摄RJ193

　　9月28日下午3时，当国家“十五”863计划先进制造与自动化技术领域办公室组织的

13人专家组一致同意宣布，100纳米离子刻蚀机和离子注入机重大专项课题通过验收，20多位科研人员顿时热泪盈眶。“三年，点点滴滴历历在目，仿佛一日，又似十年。”离子注入机研发课题组组长唐景庭深有感触。三年的时间白驹过隙，中国的科研人员走完了发达国家10年才完成的历史征程。

　　科学是老老实实的东西，来不得半点的虚假和浮躁。回首三年的研发历程，科研人员就是靠严谨务实的科学态度默默写就人生精彩的篇章。

　　他们身上凸现了自力更生的民族自强精神

　　100纳米离子刻蚀机和离子注入机是国家863重大专项，跨越近五个技术代，同时国内没有可参考的任何资料和机型。面对国外发达国家的核心技术封锁，面对基础研发的薄弱与匮乏，以北方微电子公司总经理耿锦启和中科信公司总经理唐景庭为首的研发团队不等不靠，白手起家，坚持自主创新。“有国才有家！”这是北方微电子公司总经理耿锦启常挂在嘴边用来鼓励大家的话。他不顾自己已身患糖尿病多年，带领着核心团队出国考察，曾七天跑了十二个城市，背回了第一手技术资料；攻关期间，他因病两次住院，可是他却把医院变成了又一个攻关现场，在住院期间撰写了两万多字的总结报告。

　　离子注入机研发组的科研人员，为了在短时间内完成繁重的科研攻关任务，取消了自己的休息日，平均每周工作78.5小时，形成了43份共计215万字的研究报告，先后研发完成了研究关键技术所需的多项专利，打破了国外尖端技术的封锁，终于突破了一系列关键技术，实现了民族自主创新的重大突破。

　　他们身上展现了勇于探索的科学精神

　　2004年底，离子注入机进入调试阶段，时间紧迫，为了赶上进度，调试组的技术人员每天分三班进行不停机调试。连续作战3个多月，为设备提供了详细、丰富的数据。指标攻克了，科研人员却累倒了。

　　孙亚林——这个帅气的年轻小伙子来自刻蚀机核心部件静电卡盘的研制小组，静电卡盘一直是国外卡我们“脖子”的关键部件，而且国外的专利保护范围也非常广，面对这样一个难题，他查阅了大量的技术资料，想尽办法请教业内的专家，反复比较分析试验结果，经常为了修改几个零件的设计方案加班到深夜，数不清多少个日夜的奋斗，换来的是项目的最终胜利。

　　离子注入机电源技术骨干蔡先武为了完成装备的调试任务，突破技术壁垒，没日没夜地奋斗在工作岗位上。为了达到最好的调试效果，身为高级工程师的他，从程序制作到变压器的搬运，事必躬亲。最忙碌的时候，甚至将五台电源一起调试。因为连续超负荷工作，他累倒在实验室，被同事们送进了协和医院。可短短两天后，大家在调试现场又见到了那个默默无言的熟悉身影。

　　他们身上体现了舍家忘我的创业奉献精神

　　为了早日将集成电路制造装备的宏伟蓝图变为现实，科研人员们“舍小家，为事业”，把全部的热情和精力都投入到项目攻关研究中。他们清醒地认识到:只有把工作出色完成，才对得起父母、妻儿的理解，对得起党和人民的殷切期望。

　　离子源专家戴习毛两个月前就得知父亲重病，但忙工作没能抽空回家看望父亲。可正当离子源技术攻关处于最紧张的时刻，父亲却在老家病故了。噩耗传来，这位平日刚强的汉子泪如雨下，话不成声，但手里的工作却没有停下。

　　2006年春节放假期间，100纳米离子注入机进入商用器件流片验证阶段，公司决定留下部分技术人员驻守现场。虽然常年离家的科研人员们非常祈盼与家人相聚，但没有一个人提出要回家。由于驻守人员对设备的精心维护与熟练操作，2月18日，所有片子硅片的注入工艺全部顺利完成。

　　这样的事例在100纳米离子刻蚀机和离子注入机科研团队里不过是沧海一粟。正是这种老老实实做科研的精神，使这支敢于打硬仗、勇于打硬仗、善于打硬仗的研发团队，赢得了我国集成电路制造装备项目攻关的胜利。RJ200